核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)/方案詳細(xì)規(guī)格/產(chǎn)品實(shí)體圖/PCB/方塊圖Datasheet/測(cè)試報(bào)告/Gerber/Schematics/User manual +一鍵獲取

在AI浪潮席卷全球的當(dāng)下，AI SoC（System on Chip）芯片憑借其高集成度、低功耗、高性能與高算力等特性，深度應(yīng)用于消費(fèi)電子、工業(yè)自動(dòng)化、醫(yī)療設(shè)備及航空航天和智能車載等多元領(lǐng)域，成為驅(qū)動(dòng)現(xiàn)代科技變革的核心力量。作為SoC生產(chǎn)制造的關(guān)鍵支撐，高壓輸出電源的性能直接決定著SoC的產(chǎn)能與可靠性。

在AI SoC半導(dǎo)體先進(jìn)制程中，穩(wěn)定的高壓電源系統(tǒng)是高壓脈沖、光刻機(jī)、離子注入、等離子體刻蝕和化學(xué)氣相沉積（CVD）等核心半導(dǎo)體制程工藝的主要電源供應(yīng)。

高壓脈沖電源輸出應(yīng)用中，在刻蝕過程中，高壓脈沖電源通過精確控制脈沖參數(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)等離子體的密度、能量分布以及離子沖擊頻率的精細(xì)調(diào)節(jié)。采用高頻脈沖高壓電源能夠在不顯著增加離子能量的情況下，提高等離子體密度，從而實(shí)現(xiàn)更高的刻蝕速率和更好的刻蝕選擇性。高壓電源提供穩(wěn)定的高壓輸出，其輸出的電壓和電流值相對(duì)恒定，能夠?yàn)樵O(shè)備提供持續(xù)穩(wěn)定的電力供應(yīng)，并且可以精確控制脈沖的參數(shù)，如脈寬、頻率、脈幅等。

光刻機(jī)是芯片制造過程中最關(guān)鍵的設(shè)備之一，需要穩(wěn)定的電源供應(yīng)。在芯片制造的光刻環(huán)節(jié)，光刻機(jī)通過一系列復(fù)雜的光學(xué)原理，將集成電路圖案精確地投影到涂有光刻膠的晶圓表面。通過控制光刻機(jī)的曝光參數(shù)，如曝光強(qiáng)度、曝光時(shí)間和波長(zhǎng)等，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠的精確曝光，從而在晶圓上形成相對(duì)應(yīng)的光刻膠圖案。因此，高壓電源為光刻機(jī)的深紫外（DUV）或極紫外（EUV）光源提供穩(wěn)定的高電壓驅(qū)動(dòng)，確保光源在高強(qiáng)度工作狀態(tài)下保持輸出功率、波長(zhǎng)和光束穩(wěn)定性。只有光源性能穩(wěn)定，才能實(shí)現(xiàn)光刻圖案的納米級(jí)精度轉(zhuǎn)移，進(jìn)而保障芯片制造的良品率與先進(jìn)制程的順利推進(jìn)。

等離子體刻蝕需要高壓電源通過精確調(diào)控電場(chǎng)，使摻雜離子獲得特定能量，以精確角度和深度注入半導(dǎo)體襯底，實(shí)現(xiàn)對(duì)器件電學(xué)性能的定向優(yōu)化；在等離子體刻蝕過程中，高電壓激發(fā)反應(yīng)氣體電離形成等離子體，利用高能離子的沖擊效應(yīng)，按照設(shè)計(jì)圖案對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行逐層蝕刻；而CVD工藝則依賴高壓電源維持穩(wěn)定的等離子體環(huán)境，促使氣態(tài)前驅(qū)體在高溫和電場(chǎng)作用下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在硅片表面沉積出高質(zhì)量的薄膜材料。這些先進(jìn)半導(dǎo)體制程工藝的設(shè)備，都離不開穩(wěn)定的高壓電源。

ST應(yīng)用于AI芯片先進(jìn)制程半導(dǎo)體工廠高壓設(shè)備11KW AC/DC高壓電源+3KW DC/DC高壓轉(zhuǎn)低壓解決方案，在硬件設(shè)計(jì)上，采用全隔離驅(qū)動(dòng)來驅(qū)動(dòng)SiC，并且全系統(tǒng)都采用ST第三代半導(dǎo)體1200V碳化硅管，MCU使用基于ARM架構(gòu)的M7雙核，300MHz算力的ST Stellar E1可滿足現(xiàn)有AI先進(jìn)制程半導(dǎo)體工廠的設(shè)備系統(tǒng)需求，同時(shí)配備獨(dú)立M0核的HSM模塊，可滿足先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的信息安全需求，并支持OTA系統(tǒng)升級(jí)。11kW的800V高壓輸出可提供高脈沖電壓的穩(wěn)定高壓電源，而3KW高壓轉(zhuǎn)低壓的DCDC具備200A的大電流，可滿足半導(dǎo)體設(shè)備上12V到16V低電壓輸出需求。此系統(tǒng)方案可為客戶提供高壓系統(tǒng)的硬件與軟件學(xué)習(xí)和驗(yàn)證。