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主要SiC廠商前道工藝產(chǎn)線分布(附圖)

2023/02/21
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作為推動(dòng)能源變革的關(guān)鍵技術(shù),Infineon、ON Semi等功率半導(dǎo)體巨頭們已將SiC視為未來(lái)十年業(yè)務(wù)增長(zhǎng)的強(qiáng)勁動(dòng)能。然而,原材料與關(guān)鍵設(shè)備的緊缺持續(xù)干擾著全球SiC供應(yīng)鏈的穩(wěn)定,“擴(kuò)產(chǎn)”將成為未來(lái)幾年活躍于產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵詞。

過(guò)去幾年中,IDM廠商在12英寸晶圓廠上投資了數(shù)十億美元,用于制造IGBT等硅基功率元件,這使得完全折舊的6/8英寸晶圓廠現(xiàn)在可用于支持SiC大規(guī)模生產(chǎn)。當(dāng)然,IDM廠商需要額外添置一些SiC專用生產(chǎn)設(shè)備,這包括超高溫CVD反應(yīng)器、高溫高能離子注入機(jī)、高溫氧化爐、晶圓級(jí)測(cè)試設(shè)備等。

硅晶圓在90年代經(jīng)歷了從6英寸到8英寸的轉(zhuǎn)變,隨后在大約十年后轉(zhuǎn)向12英寸晶圓。SiC正在經(jīng)歷著同樣的事情,當(dāng)前絕大多數(shù)SiC功率元件仍然依靠在6英寸晶圓上進(jìn)行生產(chǎn),而為了進(jìn)一步降低成本并擴(kuò)大SiC滲透率,Wolfspeed等一線廠商已目光投向8英寸。這十分困難,但不得不做,我們可以看到Wolfspeed Mohawk Valley Fab的實(shí)際量產(chǎn)時(shí)間已經(jīng)被一再推遲,這同樣關(guān)系到其近幾個(gè)季度糟糕的財(cái)務(wù)狀況。

另外,中國(guó)的SiC前道工藝產(chǎn)線數(shù)量正在迅速增長(zhǎng),TrendForce統(tǒng)計(jì)已量產(chǎn)和規(guī)劃產(chǎn)線約近20條,而須留意的關(guān)鍵產(chǎn)線約7條。其中,三安光電、泰科天潤(rùn)已具備非常成熟的二極管制造能力,而在MOSFET制程開(kāi)發(fā)過(guò)程中卻仍面臨著諸多阻礙,特別是汽車級(jí)產(chǎn)品。

TrendForce集邦咨詢將于近期推出SiC專題市場(chǎng)報(bào)告,剖析全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展現(xiàn)狀、關(guān)鍵應(yīng)用進(jìn)展及廠商近況,敬請(qǐng)期待。

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