TDK 株式會社（東京證券交易所代碼：6762）推出兩款新的采用符合 RoHS 要求的鋯鈦酸鉛 (PZT) 材料制成的銅內電極壓電執(zhí)行器——COM30S5 和 COM45S5。新款元件采用 TDK 獲得專利的基于銅電極的 HAS（高有效堆疊）技 術，以無外殼封裝的被動元件供貨，實現(xiàn)了良好的動態(tài)范圍、高力量/體積比和納米級精度。比之其他技術，TDK 采 用 HAS 技術的壓電執(zhí)行器性能更佳，濕度穩(wěn)定性更好、使用壽命更長。

兩款新元件覆蓋電壓范圍為-10 至+180 V，額定位移在+160 V 處達到，允許的表面溫度范圍為-40 至+160°C，高度 分別為 30 mm 和 45 mm，橫截面尺寸為 5.2 mm x 5.2 mm，并且在 160 V 和 730 N 的預緊力條件下可實現(xiàn) 55 μm (COM30S5) 和 83 μm (COM45S5) 的位移。

此外，TDK 計劃于 2023 年再推出另外三款執(zhí)行器，以滿足更廣泛的應用要求。目前，這些執(zhí)行器僅作為少量原型樣品供應，尚未量產，具體包括高度為 10 mm、位移量為 16 μm 的 COM10S5；高度為 27 mm、位移量為 47 μm的 COM27S3（帶引線型）；以及高度為 30 mm、橫截面為 7 mm x 7 mm、位移量為 55 μm、推力高達 2600 N 的COM30S7。

TDK 的壓電執(zhí)行器口碑好，應用范圍廣，適合包括納米級定位技術、工藝工程中液體和氣體的高精度閥門控制，以 及半導體制造等高端解決方案在內的諸多應用。

主要應用

• 納米級定位系統(tǒng)
• 液體和氣體的高精度閥門控制
• 焊線機

主要特點和優(yōu)勢

• 銅內電極，具有優(yōu)異濕度穩(wěn)定性和高性價比
• 更小的無效區(qū)域，更好的性能，更長的使用壽命和更緊湊的設計
• 采用無鉛高熔點金屬焊接，適合高溫操作