佳世達(dá)集團(tuán)羅升企業(yè)旗下資騰科技（Standard Technology Corporation）參加Semicon China 2024展覽，展示多項協(xié)助優(yōu)化半導(dǎo)體制程的創(chuàng)新產(chǎn)品，如超潔凈金屬氣體過濾器、超高精度光阻涂布泵等。該展覽于3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉行，資騰科技的展位位于N3館3145號。

資騰科技總經(jīng)理陳國榮表示，因應(yīng)全球ESG、第三代半導(dǎo)體等趨勢需求，今年資騰科技將展示一系列針對半導(dǎo)體制造行業(yè)的創(chuàng)新產(chǎn)品，旨在提高制程效率、減少環(huán)境負(fù)荷，并支持產(chǎn)業(yè)的永續(xù)發(fā)展。以下是其中幾項亮點(diǎn)產(chǎn)品：

1.超潔凈金屬氣體過濾器：次世代奈米工廠必備，金屬燒結(jié)微米級不銹鋼（SUS 316L）短纖維制成薄層金屬膜過濾器，皺褶狀設(shè)計增加過濾面積。專為Load lock chamber排氣過濾而設(shè)，縮短排氣時間，提高機(jī)臺5-8%的稼動率。

2.超高精度光阻涂布泵：適用于半導(dǎo)體黃光制程光阻涂布，以及其他需要精確控制藥液噴吐量的應(yīng)用場景。幾乎零藥液浪費(fèi)，可與半導(dǎo)體設(shè)備（如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等）匹配使用。提供氣缸式和馬達(dá)式控制，穩(wěn)定性高且壽命長。資騰提供在地實(shí)時服務(wù)支持。

3.非接觸型渦漩式吸筆：資騰自主研發(fā)，利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學(xué)組件，避免晶圓或是光學(xué)組件表面刮傷，提高晶圓傳送效率和穩(wěn)定性。具有客制化和價格優(yōu)勢，目前已有SiC與光學(xué)組件廠客戶銷售實(shí)績。

資騰科技充分考慮大陸市場特性和全球趨勢，針對ESG、第三代半導(dǎo)體、新建晶圓廠和設(shè)備國產(chǎn)化等領(lǐng)域提出不同的解決方案。通過強(qiáng)大的產(chǎn)業(yè)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)能力，與合作伙伴攜手，共同促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新未來。