RFID在晶圓搬運(yùn)機(jī)中的智能化實(shí)踐

應(yīng)用背景

在半導(dǎo)體制造行業(yè)，晶圓搬運(yùn)是一個(gè)至關(guān)重要的環(huán)節(jié)，它不僅影響生產(chǎn)效率，還直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和成本。在如今的多品種少量生產(chǎn)中，要保障生產(chǎn)效率和品質(zhì)，工序管理至關(guān)重要。其中最有效的手段之一，就是通過RFID方式，用CIDRW頭從CID載體中讀寫每個(gè)FOUP的信息，把握并追蹤工序進(jìn)度。RFID方式具有出色的讀寫可靠性和耐環(huán)境性，在生產(chǎn)效率的維持和耐清洗性需求較高的半導(dǎo)體制造車間，有廣泛的應(yīng)用

應(yīng)用方案

RFID技術(shù)是一種利用無線電波進(jìn)行非接觸式雙向通信以達(dá)到識別目標(biāo)物體的目的的技術(shù)。它由RFID標(biāo)簽、讀寫器和天線組成。RFID標(biāo)簽可以貼附在物品上，存儲(chǔ)有關(guān)物品的信息，而讀寫器則可以通過無線信號讀取或?qū)懭脒@些信息。相比于傳統(tǒng)條形碼技術(shù)，RFID技術(shù)具有識別速度快、讀取范圍廣、可穿透非金屬材料等特點(diǎn)。

通過將RFID標(biāo)簽安裝在晶圓盒上，將晶圓盒存儲(chǔ)晶圓的身份信息和其他關(guān)鍵數(shù)據(jù)與RFID標(biāo)簽綁定，然后可以通過RFID讀卡器讀取標(biāo)簽內(nèi)部消息；通過RFID系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)在整個(gè)工廠范圍內(nèi)實(shí)時(shí)追蹤晶圓的位置，也可由搬運(yùn)機(jī)通過讀取RFID標(biāo)簽，自動(dòng)識別晶圓的狀態(tài)（如是否完成某道工序），并據(jù)此做出下一步操作的決策。

應(yīng)用產(chǎn)品

CK-S650-PA60E是一款基于射頻識別技術(shù)的低頻RFID標(biāo)簽讀卡器，讀卡器工作頻率134.2kHz。該讀卡器支持標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)半導(dǎo)體HSMS、Modbus TCP協(xié)議,同時(shí)還支持1和N協(xié)議，方便用戶應(yīng)用到半導(dǎo)體加工控制器或PLC等系統(tǒng)中。設(shè)備外置了三個(gè)模式開關(guān)選擇器，方便用戶直接設(shè)置工作模式、通信速率以及設(shè)備地址。讀卡器內(nèi)部集成了射頻部分通信協(xié)議，用戶只需通過以太網(wǎng)通信接口發(fā)送接收數(shù)據(jù)便可完成標(biāo)簽的讀取操作，無需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議