首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備認(rèn)定（即首臺(tái)套認(rèn)定）是國(guó)家及地方政府對(duì)首次研發(fā)并投入市場(chǎng)應(yīng)用的重大技術(shù)裝備進(jìn)行官方認(rèn)證，旨在鼓勵(lì)企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級(jí)，推動(dòng)高端裝備制造業(yè)發(fā)展。獲得認(rèn)定的產(chǎn)品通常具有創(chuàng)新性、先進(jìn)性和市場(chǎng)潛力，可享受政策支持和資金扶持，具有示范引領(lǐng)作用。

回望2024年，國(guó)內(nèi)多個(gè)省份紛紛發(fā)布了首臺(tái)套認(rèn)定名單，其中多個(gè)碳化硅等第三代半導(dǎo)體裝備上榜，詳情請(qǐng)看：

盤點(diǎn)上榜“首臺(tái)套”的SiC設(shè)備

2024年，廣東、湖南、浙江、江蘇、山東及黑龍江等多個(gè)省份的認(rèn)定中包含了多個(gè)SiC等第三代半導(dǎo)體裝備：

廣東省

2024年6月，廣東省發(fā)布首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄。在精密儀器設(shè)備領(lǐng)域，SiC 晶圓襯底缺陷自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備在列（單位：臺(tái)）。據(jù)介紹，該設(shè)備適用于4、6、8吋SIC襯底；檢出率≥99%；最小分辨率：顆粒物≤0.2μm；劃傷≤1μm。

值得一提的是，該設(shè)備或?qū)⒂匈Y格獲得不超過500萬(wàn)元資金獎(jiǎng)勵(lì)——廣東省將對(duì)符合《指導(dǎo)目錄》要求的裝備產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)銷售后對(duì)研制企業(yè)進(jìn)行獎(jiǎng)勵(lì)，原則上按單臺(tái)（套）裝備售價(jià)的30%給予獎(jiǎng)勵(lì)，成套裝備獎(jiǎng)勵(lì)最高不超過900萬(wàn)元/套，單臺(tái)裝備、單批總成或核心部件獎(jiǎng)勵(lì)最高不超過500萬(wàn)元/臺(tái)（批）。

湖南省

湖南省工業(yè)和信息化廳在2024年10月8日公布了2024年度湖南省首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備認(rèn)定產(chǎn)品名單，共認(rèn)定50項(xiàng)技術(shù)裝備產(chǎn)品。這些產(chǎn)品中包括了湖南維尚科技有限公司旗下的第三代大功率半導(dǎo)體基板燒結(jié)裝備。

浙江省

浙江省經(jīng)濟(jì)和信息化廳于2024年12月24日公示了2024年度浙江省首臺(tái)（套）裝備認(rèn)定結(jié)果，認(rèn)定中關(guān)于SiC等第三代半導(dǎo)體的裝備包括：

1）SiC功率器件動(dòng)態(tài)偏壓可靠性測(cè)試裝備，申報(bào)企業(yè)為杭州飛仕得科技股份有限公司，裝備類別為整機(jī)裝備；

2）SiC集成電路高端電化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，申報(bào)企業(yè)為杭州眾硅電子科技有限公司，裝備類別為整機(jī)裝備；

3）8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備，來(lái)自西湖儀器（杭州） 技術(shù)有限公司，裝備類別為成套設(shè)備。

江蘇省

江蘇省工業(yè)和信息化廳在2024年9月19日公示了2024年江蘇省首臺(tái)（套）重大裝備名單，其中來(lái)自芯三代半導(dǎo)體科技（蘇州）股份有限公司的PE1T51-6011AB 六英寸垂直式碳化硅外延設(shè)備榜上有名。

此外，江蘇省還發(fā)布了關(guān)于加快首臺(tái)（套）裝備研發(fā)應(yīng)用的政策舉措，自2025年1月1日起實(shí)施。

山東省

山東省工業(yè)和信息化廳在2024年12月16日公示了2024年度山東省首臺(tái)（套）技術(shù)裝備生產(chǎn)企業(yè)及產(chǎn)品名單，名單中包括碳化硅金剛線切片機(jī)（GC-SCDW6500），申報(bào)企業(yè)為青島高測(cè)科技股份有限公司。

黑龍江

黑龍江省工業(yè)和信息化廳于2024年6月6日公示了2024年度黑龍江省首臺(tái)（套）產(chǎn)品擬認(rèn)定名單，共有55家企業(yè)上榜。其中，哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司旗下有2個(gè)碳化硅裝備上榜，分別是碳化硅感應(yīng)長(zhǎng)晶爐（6英寸）以及碳化硅電阻長(zhǎng)晶爐（6英寸）。

首臺(tái)套認(rèn)定的多重利好

首臺(tái)套認(rèn)定為各省份乃至全國(guó)的高端裝備制造業(yè)發(fā)展提供了強(qiáng)勁動(dòng)力。通過政策支持和資金扶持，企業(yè)得以加大研發(fā)投入，推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新，提升產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力：

財(cái)政資金獎(jiǎng)勵(lì)

許多地方政府會(huì)對(duì)獲得首臺(tái)套認(rèn)定的企業(yè)給予財(cái)政資金獎(jiǎng)勵(lì)。如廣東省明確將根據(jù)文件給予上榜企業(yè)/產(chǎn)品給予豐厚的財(cái)政資金獎(jiǎng)勵(lì)。同時(shí)，部分地方政府為鼓勵(lì)企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和首臺(tái)套裝備的研發(fā)，會(huì)給予企業(yè)一定的稅收優(yōu)惠政策。

提升市場(chǎng)認(rèn)可度

首臺(tái)套認(rèn)定可提升產(chǎn)品的市場(chǎng)認(rèn)可度和品牌知名度，使企業(yè)的產(chǎn)品更容易獲得市場(chǎng)的信任和青睞，拓展市場(chǎng)份額。其示范效應(yīng)還能帶動(dòng)相關(guān)行業(yè)和領(lǐng)域?qū)π录夹g(shù)、新產(chǎn)品的應(yīng)用和推廣，進(jìn)一步擴(kuò)大企業(yè)的市場(chǎng)影響力。此外，部分地方政府和相關(guān)部門為降低企業(yè)研發(fā)和市場(chǎng)推廣風(fēng)險(xiǎn)，建立了首臺(tái)套重大技術(shù)裝備保險(xiǎn)補(bǔ)償機(jī)制，增強(qiáng)企業(yè)應(yīng)對(duì)風(fēng)險(xiǎn)的能力。

促進(jìn)企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新

首臺(tái)套認(rèn)定促使企業(yè)加大研發(fā)投入，開展技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，推動(dòng)企業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和創(chuàng)新能力的提升。這不僅有助于企業(yè)提高產(chǎn)品的技術(shù)水平和性能，還能帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化和升級(jí)，提高整個(gè)產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力和附加值。