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市值超過千億的國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭中微公司，有了新動作。

最新工商信息顯示，由中微公司全資子公司中微半導(dǎo)體（上海）有限公司（以下簡稱“中微上?！保┞?lián)合自然人劉曉宇、嘉興富仁衡企業(yè)管理合伙企業(yè)（有限合伙）（以下簡稱“富仁衡”）共同發(fā)起設(shè)立的上海智微私募基金管理有限公司（以下簡稱“智微公司”），近日正式成立。

公開資料顯示，智微公司成立于今年2月14日，注冊資本為1000萬元人民幣，注冊在臨港新片區(qū)市場監(jiān)督管理局。

持股45%發(fā)力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游

設(shè)立新基金的消息，最早可以追溯至一個月之前。今年1月14日晚間，中微公司發(fā)布了《關(guān)于與關(guān)聯(lián)方共同投資設(shè)立私募基金管理人暨關(guān)聯(lián)交易的公告》。一個月后，新基金正式落地。

具體出資比例方面，智微公司注冊資本為1000萬元人民幣，由中微上海、劉曉宇、富仁衡三家共同成立，其中中微上海、自然人劉曉宇分別出資450萬元，分別持股45%；還有富仁衡出資100萬元，持股10%。智微公司的總經(jīng)理由劉曉宇擔(dān)任。

中微公司稱，與關(guān)聯(lián)方共同投資設(shè)立從事私募基金管理業(yè)務(wù)的公司，有助于公司與其他社會資本合作，進一步拓展公司在產(chǎn)業(yè)鏈上下游的投資能力。

出資人方面，中微公司是國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)刻蝕設(shè)備龍頭企業(yè)，于2004年在浦東金橋成立，公司主要產(chǎn)品包括CCP電容性等離子體刻蝕設(shè)備、ICP電感性等離子體刻蝕設(shè)備、深硅刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備及MOCVD設(shè)備等，部分產(chǎn)品已批量用于全球7nm和5nm及更先進的集成電路加工制造生產(chǎn)線及先進封裝生產(chǎn)線。

作為2019年首批科創(chuàng)板上市企業(yè)，截至2024年6月，中微公司累計申請專利已達2648項，已獲授權(quán)專利1670項，其中發(fā)明專利占比高達85.87%，目前累計已有超5000個反應(yīng)臺在國內(nèi)外130多條生產(chǎn)線實現(xiàn)量產(chǎn)和大規(guī)模重復(fù)性銷售。

中微公司的客戶遍布中國大陸和中國臺灣、新加坡、韓國、德國、意大利等10多個國家和地區(qū)，在全球范圍內(nèi)擁有2000多名員工，其中研發(fā)人員占比接近半數(shù)。

劉曉宇是中微公司第二屆董事會副總經(jīng)理、董事會秘書，富仁衡是由劉曉宇擔(dān)任普通合伙人的有限合伙企業(yè)。

中微公司表示，劉曉宇過去20多年先后任職于中芯國際和中微公司，積累了豐富的經(jīng)驗，并建立了廣泛的半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)系，對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及資本市場有深入的理解。他在中微公司任職期間，負責(zé)中微公司的投資業(yè)務(wù)，參與項目30多個，涉及投資金額超過20億元，投資案例包括拓荊科技等。與劉曉宇開展私募基金管理人的合作，能夠充分發(fā)揮公司的資金和行業(yè)優(yōu)勢，進一步強化公司產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)作。

富仁衡是由劉曉宇、徐靜共同設(shè)立的合伙企業(yè)。其中，劉曉宇擔(dān)任普通合伙人、執(zhí)行事務(wù)合伙人；徐靜擔(dān)任有限合伙人，同時其也是智微公司的投資負責(zé)人。

資料顯示，徐靜2020年加入中微公司，目前任中微公司投資總監(jiān)。其在過去任職期間，參與投資項目總計超過50個，涉及投資金額超過40億元，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、通信技術(shù)、TMT、互聯(lián)網(wǎng)+等領(lǐng)域有著豐富的投資經(jīng)驗。

中微公司表示，公司與半導(dǎo)體領(lǐng)域有著豐富投資經(jīng)驗的劉曉宇、徐靜共同投資設(shè)立私募基金管理人，能夠為未來開展投資項目提供價值研判，助力提升被投企業(yè)的市場競爭力。劉曉宇和徐靜將持續(xù)激勵相關(guān)人員，增強對智微公司的歸屬感、激發(fā)員工的創(chuàng)新精神和團隊精神、促進智微公司的穩(wěn)定發(fā)展。

業(yè)績13年穩(wěn)定增長，研發(fā)力度持續(xù)增強

設(shè)立新基金的背后，是中微公司作為行業(yè)龍頭，持續(xù)13年的業(yè)績穩(wěn)定增長以及不斷加大的研發(fā)力度。

2月27日晚間，中微公司發(fā)布2024年度業(yè)績快報。據(jù)披露，公司2024年營業(yè)收入約90.65億元，同比增長約44.73%。公司在過去13年保持營業(yè)收入年均增長大于35%，最近4年營業(yè)收入年均增長大于40%的基礎(chǔ)上，2024年營業(yè)收入繼續(xù)同比增長約44.73%。其中，2024年刻蝕設(shè)備收入約72.77億元，在最近4年收入年均增長超過50%的基礎(chǔ)上，2024年繼續(xù)同比增長約54.73%。

同時，公司為先進存儲器件和邏輯器件開發(fā)的六種LPCVD薄膜設(shè)備已經(jīng)順利進入市場，2024年收到約4.76億元批量訂單，實現(xiàn)銷售收入已達到約1.56億元；MOCVD設(shè)備銷售約3.79億元。公司2024年度實現(xiàn)歸屬于母公司所有者的扣非凈利潤約為13.88億元，同比增加約16.52%。

談及影響經(jīng)營業(yè)績的主要因素，中微公司分析稱，近年隨著人工智能、云計算、大數(shù)據(jù)、自動駕駛等新興產(chǎn)業(yè)進一步加速發(fā)展，半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備作為數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵基石，其市場高速發(fā)展。公司主營產(chǎn)品的刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備是半導(dǎo)體前道關(guān)鍵核心設(shè)備，市場空間廣闊，技術(shù)壁壘較高。公司的刻蝕設(shè)備及薄膜設(shè)備持續(xù)獲得眾多客戶的認(rèn)可，針對芯片制造中關(guān)鍵工藝的高端產(chǎn)品新增付運量及銷售額顯著提升。

“公司始終強調(diào)技術(shù)創(chuàng)新并保持高強度的研發(fā)投入。目前在研項目涵蓋六類設(shè)備，超二十款新設(shè)備的開發(fā)。公司在新產(chǎn)品開發(fā)方面取得了顯著成效，近兩年新開發(fā)的LPCVD薄膜設(shè)備和ALD薄膜設(shè)備，目前已有多款新型設(shè)備產(chǎn)品進入市場并獲得重復(fù)性訂單。其中，LPCVD薄膜設(shè)備累計出貨量已突破150個反應(yīng)臺，其他多個關(guān)鍵薄膜沉積設(shè)備研發(fā)項目正在順利推進；公司EPI設(shè)備已順利進入客戶端量產(chǎn)驗證階段。”中微公司表示。

在研發(fā)力度上，業(yè)績快報顯示，報告期內(nèi)，根據(jù)市場及客戶需求，中微公司顯著加大研發(fā)力度，2024年在研項目涵蓋六類設(shè)備，超二十款新設(shè)備的開發(fā)。2024年公司研發(fā)投入約24.52億元，同比增長約94.31%，研發(fā)投入占公司營業(yè)收入比例約為27.05%，遠高于科創(chuàng)板上市公司的平均研發(fā)投入水平。公司研發(fā)新產(chǎn)品的速度顯著加快，過去通常需要三到五年開發(fā)一款新設(shè)備，現(xiàn)在只需兩年或更短時間就能開發(fā)出有競爭力的新設(shè)備，并順利進入市場。

“公司始終強調(diào)技術(shù)創(chuàng)新并保持高強度的研發(fā)投入。目前在研項目涵蓋六類設(shè)備，超二十款新設(shè)備的開發(fā)。公司在新產(chǎn)品開發(fā)方面取得了顯著成效，近兩年新開發(fā)的LPCVD薄膜設(shè)備和ALD薄膜設(shè)備，目前已有多款新型設(shè)備產(chǎn)品進入市場并獲得重復(fù)性訂單。其中，LPCVD薄膜設(shè)備累計出貨量已突破150個反應(yīng)臺，其他多個關(guān)鍵薄膜沉積設(shè)備研發(fā)項目正在順利推進；公司EPI設(shè)備已順利進入客戶端量產(chǎn)驗證階段?！敝形⒐颈硎?。

可以說，穩(wěn)定的業(yè)績增長以及研發(fā)力度持續(xù)增強的共同加持下，中微公司對整合產(chǎn)業(yè)鏈上下游的需求格外凸顯，這構(gòu)成了本次設(shè)立新基金的原因之一。

數(shù)次布局臨港

本次新基金注冊地在臨港新片區(qū)，這不是中微公司第一次在此布局。

2月24日，臨港新片區(qū)管委會與超微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡稱“超微公司”）簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議，市委常委、臨港新片區(qū)黨工委書記、管委會主任陳金山出席儀式并見證簽約。

超微公司主要從事電子束及光學(xué)量檢測設(shè)備的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，擬投資10億元在臨港建設(shè)電子束和光學(xué)量檢測設(shè)備研發(fā)和制造基地項目，聚焦集成電路重大設(shè)備技術(shù)開發(fā)與產(chǎn)品市場化，并探索人工智能在圖像處理、設(shè)備智能化方面的應(yīng)用。

據(jù)企查查深度股權(quán)穿透分析，超微半導(dǎo)體的背后包括知名企業(yè)中微公司等4位股東，中微公司持股60%，為大股東。

另外根據(jù)中微公司的資料顯示，目前公司在上海臨港的約18萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地已經(jīng)投入使用，支持了公司產(chǎn)品付運及銷售快速增長的達成。同時公司生產(chǎn)運營管理水平不斷提升，產(chǎn)品成本、運營費用控制能力有效增強。

中微公司在臨港密集布局的背后，是臨港新片區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展的一個縮影。集成電路是臨港新片區(qū)“4+2+2”前沿產(chǎn)業(yè)體系的核心組成，涵蓋設(shè)計、制造、設(shè)備、核心材料、封裝等完整門類，是臨港投資規(guī)模最大、集群效應(yīng)最強、產(chǎn)業(yè)鏈布局最完善的核心產(chǎn)業(yè)，目前已集聚了300多家在國內(nèi)外有影響力的集成電路企業(yè)。

臨港新片區(qū)已落地集成電路設(shè)備整機、零部件及關(guān)鍵耗材企業(yè)有80余家，已覆蓋涂膠顯影設(shè)備、光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、離子注入設(shè)備、清洗設(shè)備、量檢測設(shè)備、后道封裝測試設(shè)備等環(huán)節(jié)，并延伸到閥門、腔體設(shè)備等核心零部件及掩膜版、密封件、靶材、拋光材料等關(guān)鍵耗材領(lǐng)域。

市場分析指出，此番中微公司選擇再次將新基金落子臨港新片區(qū)，正是看中了在臨港新片區(qū)發(fā)展蓬勃的集成電路產(chǎn)業(yè)，能為其自身產(chǎn)業(yè)鏈上下游整合帶來優(yōu)勢和便利。

作者｜袁益? ? ??編輯｜吳曉晴