今天整理一個半導體耗材:濺射靶材的供應商數據統(tǒng)計說實話,這個領域在國內已經非常成熟了,國產靶材的銷售量可能已經全球最高了,只是在部分高端靶材領域還受進口限制未來這個行業(yè)的發(fā)展機會應該在上游的高純金屬粉末、原材料
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濺射靶材是一種用于物理氣相沉積(PVD)技術中的關鍵材料,主要用于在基材表面沉積薄膜。其原理是通過高能粒子(如離子)轟擊靶材表面,使靶材原子或分子濺射出來,并沉積到目標基板上形成均勻薄膜。以下是濺射靶材的基本介紹:
1. 組成與分類
金屬靶材:如鋁(Al)、銅(Cu)、鈦(Ti)等,用于導電層、金屬鍍膜等。
合金靶材:如鈦鋁(Ti-Al)、鎳鉻(Ni-Cr)等,滿足特定導電性或耐腐蝕性需求。
陶瓷靶材:如氧化銦錫(ITO,用于透明導電膜)、氮化鈦(TiN,用于硬質涂層)等。
高純度靶材:半導體行業(yè)常用(如99.999%純度的硅、鉭等)。
2. 制造工藝
靶材通常通過粉末冶金、熔融鑄造或熱壓等工藝制備,要求高純度、高密度和均勻的微觀結構。部分復雜形狀靶材需精密加工。
3. 主要應用領域
半導體:制造集成電路中的金屬互連層、阻擋層(如銅、鉭)。
平板顯示:ITO靶材用于液晶顯示器(LCD)、OLED的透明電極。
太陽能電池:沉積透明導電膜或背電極(如鋁、銀)。
光學鍍膜:制備增透膜、反射膜(如SiO?、TiO?)。
工具涂層:氮化鈦(TiN)等用于提高刀具硬度與耐磨性。
4. 性能要求
高純度:雜質可能影響薄膜性能(如半導體漏電)。
高密度:減少濺射過程中的顆粒飛濺和孔隙。
均勻性:確保薄膜厚度與成分一致。
結合強度:靶材與背板需緊密貼合以提升散熱效率。
5. 發(fā)展趨勢
新型材料開發(fā):如高熵合金靶材、低電阻氧化物靶材。
大尺寸靶材:適應半導體晶圓和顯示面板的大面積鍍膜需求。
環(huán)保要求:減少稀有金屬(如銦)依賴,推動回收技術。
濺射靶材是微電子、光電子等高端制造領域的核心材料,其性能直接決定薄膜器件的質量和效率。隨著技術進步,靶材的多樣性和應用場景持續(xù)擴展。
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