合肥晶合集成是安徽省第一家 12 英寸晶圓制造企業(yè)，專注于集成電路晶圓代工業(yè)務(wù)，目前驅(qū)動(dòng)芯片產(chǎn)能在全球液晶面板顯示驅(qū)動(dòng)芯片代工市場(chǎng)占有率達(dá)到 20%，在中國(guó)大陸地區(qū)液晶面板顯示驅(qū)動(dòng)芯片代工市場(chǎng)占有率達(dá)到 85%。目前公司攜手客戶積極推動(dòng) CMOS 圖像傳感器芯片的工藝制程研發(fā)，到 2021 年公司將成為安防領(lǐng)域 CMOS 圖像傳感器芯片主要代工商。

晶合集成一直致力于本土化發(fā)展，在 2017 年企業(yè)剛進(jìn)入量產(chǎn)時(shí)就引進(jìn)了第一臺(tái)國(guó)產(chǎn)設(shè)備：北方華創(chuàng)的物理氣相沉積系統(tǒng)（Al PVD–eVictor A830）。經(jīng)線上驗(yàn)證，北方華創(chuàng) PVD 各方面性能達(dá)到國(guó)際產(chǎn)品水準(zhǔn)，可以實(shí)現(xiàn)完全替代同類美國(guó)產(chǎn)品，并進(jìn)行穩(wěn)定量產(chǎn)。2019 年，晶合集成再次引進(jìn)北方華創(chuàng) Saqua 系列 12 英寸單片清洗機(jī)，自機(jī)臺(tái) Move in 以來，雙方密切配合，穩(wěn)步推進(jìn)產(chǎn)品工藝驗(yàn)證。雙方合作研發(fā)小量換酸功能，提升藥液使用壽命，降低藥液成本。共同開發(fā)的納米噴霧(Nano spray)功能，工藝顆粒去除率明顯提升超過 97%，產(chǎn)品良率也得到顯著改善，2019 年 8 月 30 日，該設(shè)備正式加入生產(chǎn)行列，替代日本同類產(chǎn)品。

晶合集成加快引入本土產(chǎn)品的進(jìn)程，從原日本機(jī)臺(tái)和美國(guó)材料的組合，轉(zhuǎn)變成北方華創(chuàng)機(jī)臺(tái)和安集材料組合，預(yù)計(jì)在產(chǎn)能達(dá)到 3 萬片后，在 EKC（混酸工藝）領(lǐng)域?qū)⑷刻鎿Q為北方華創(chuàng)的設(shè)備。

北方華創(chuàng) Saqua 系列 12 英寸單片清洗機(jī)

晶合集成蔡輝嘉總經(jīng)理認(rèn)為，無論是降低企業(yè)生產(chǎn)成本，還是保持企業(yè)采購選擇的多樣性，推動(dòng)本土產(chǎn)品參與競(jìng)爭(zhēng)都是非常重要的。只要給時(shí)間、給機(jī)會(huì)，我對(duì)本土產(chǎn)品的未來非常有信心！本土化設(shè)備的進(jìn)駐對(duì)于晶合甚至合肥的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展都有著積極的推動(dòng)作用，一方面，對(duì)于晶合而言，通過和北方華創(chuàng)的成功合作，不僅減少了物流時(shí)間、降低了生產(chǎn)成本，也讓晶合在機(jī)臺(tái)方面有了多重選擇。另一方面，本土產(chǎn)品的品質(zhì)逐步提升，透過晶合生產(chǎn)良率驗(yàn)證的實(shí)績(jī)，本土設(shè)備企業(yè)可以拿到參與市場(chǎng)中自由競(jìng)爭(zhēng)的門票，有助于幫助合肥乃至中國(guó)半導(dǎo)體打造健康的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。