CINNO Research產(chǎn)業(yè)資訊，日本JSR收購了次世代EUV光刻膠初創(chuàng)企業(yè)美國inpria。通過此次收購， JSR擴大了EUV 光刻膠布局。隨著半導體精細制程需求而增長的EUV光刻膠市場上，JSR的地位有望進一 步加強。 

根據(jù)韓媒etnews 報道，JSR宣布收購 inpria 79%的股份。JSR在2017年獲得了inpria 21%的股份，通過 此次追加投資完成了inpria 的100%股份持有。收購工作將于10月底結束。inpria的市值為5.14億美 元。  

 inpria是開發(fā)半導體曝光制程中使用的PR的初創(chuàng)公司?？梢援嫵龀?a class="article-link" target="_blank" href="/tag/%E7%94%B5%E8%B7%AF/">電路pattern的EUV需要與傳統(tǒng)制程不一樣的專用光刻膠。因其技術難度高，一直被日本 JSR、TOK、信越等獨家生產(chǎn)。 

inpria開發(fā)出了比現(xiàn)有的有機物基礎EUV 光刻膠光吸收率更高的無機物基礎光刻膠，因此在業(yè)界備受關 注。三星電子、SK 海力士、TSMC等企業(yè)均對inpria進行過投資。 

通過此次收購，JSR在EUV光刻膠市場上的影響力將進一步加強。隨著JSR將產(chǎn)品領域從有機物光刻膠擴 大到無機物光刻膠，可以應對新一代EUV 光刻膠市場。JSR表示:“，JSR聯(lián)手inpria將穩(wěn)固和加強了作為 業(yè)界最尖端曝光制程領域的領導者和合作伙伴的地位。收購決定與 JSR對半導體產(chǎn)業(yè)的長期戰(zhàn)略和經(jīng)營方針 一致。”