集微網(wǎng)消息（文/林雪瑩）3月25日，南大光電在投資者互動(dòng)平臺(tái)就投資者關(guān)于“193nm光刻膠項(xiàng)目第二條生產(chǎn)線是否建設(shè)完畢，是否進(jìn)行投產(chǎn)，如還未完工預(yù)計(jì)何時(shí)完工”等問(wèn)詢作出回應(yīng)稱，公司已建成兩條ArF光刻膠生產(chǎn)線，合計(jì)產(chǎn)能25噸。

此外，就寧波芯港小鎮(zhèn)南大三期項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)度，南大光電回應(yīng)稱該工廠已經(jīng)建成。

據(jù)了解，南大光電多年來(lái)專注于關(guān)鍵半導(dǎo)體材料的技術(shù)研發(fā)，憑借多年的自主研發(fā)和實(shí)踐積累，掌握了MO源、高純ALD/CVD前驅(qū)體、氫類電子特氣、含氟電子特氣、ArF光刻膠等關(guān)鍵電子材料的核心技術(shù)，先后承擔(dān)了國(guó)家863計(jì)劃MO源全系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目及多項(xiàng)國(guó)家“02專項(xiàng)”項(xiàng)目，攻克了多個(gè)技術(shù)難題。半導(dǎo)體材料的研發(fā)，需要高端技術(shù)人才及行業(yè)專家的引領(lǐng)和驅(qū)動(dòng)。本次激勵(lì)計(jì)劃授予價(jià)格有利于公司吸引、留住更多優(yōu)秀人才，持續(xù)激發(fā)企業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)效的內(nèi)生長(zhǎng)加速度，全面塑造人才引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)、產(chǎn)業(yè)匯聚人才的企業(yè)生態(tài)文化。

在MO源方面，公司除了在MO源2.0研發(fā)方面取得進(jìn)展外，在高純、低硅低氧三甲基鋁方面加大研發(fā)力度，也取得了關(guān)鍵性的進(jìn)展，為MO源業(yè)務(wù)從LED向IC、新能源行業(yè)的升級(jí)轉(zhuǎn)型奠定基礎(chǔ)。前驅(qū)體方面，除了有客制產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化外，還要將去年從杜邦集團(tuán)買(mǎi)入的硅前驅(qū)體專利進(jìn)行研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，目前進(jìn)展順利。

在電子特氣方面，最新升級(jí)的超高純砷烷產(chǎn)品品質(zhì)在下游客戶的測(cè)試中已超過(guò)目前國(guó)際先進(jìn)同行的技術(shù)水平，超高純磷烷產(chǎn)品進(jìn)入國(guó)際一流制程的芯片企業(yè)，標(biāo)志著公司氫類電子特氣已躍居世界前列。混氣方面的研發(fā)進(jìn)展也比較好，正在積極應(yīng)對(duì)新能源產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)升級(jí)需求。