微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS）是一種將微觀機械工藝與微電子技術(shù)相結(jié)合，制造出微小尺寸、低功耗、集成度高的電子器件的學(xué)科。

微機電系統(tǒng)隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)和微納加工技術(shù)的發(fā)展而逐漸壯大。它采用微型化和集成化的工藝，可以制造出像機械傳感器、微馬達(dá)等微型設(shè)備在內(nèi)的許多微系統(tǒng)，并應(yīng)用于醫(yī)療、汽車、航空等各個領(lǐng)域。

1.微機電系統(tǒng)是什么

微機電系統(tǒng)主要由微機械部分、電子元件和系統(tǒng)集成三部分組成。其中微機械部分包括微機械結(jié)構(gòu)、微加工技術(shù)和材料技術(shù)，主要實現(xiàn)功能是通過微型機械結(jié)構(gòu)感知外部環(huán)境，并將信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出。電子元件則負(fù)責(zé)信號的處理和放大，系統(tǒng)集成部分完成微機械結(jié)構(gòu)與電子元件之間的組裝和封裝。

2.微機電系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些

微機電系統(tǒng)在各種高精度儀器中得到廣泛應(yīng)用。例如，在汽車產(chǎn)業(yè)中使用壓力傳感器、流量傳感器和加速度傳感器等MEMS技術(shù)實現(xiàn)智能化；在醫(yī)學(xué)設(shè)備中使用血壓計、藥物輸送泵和人工耳蝸等MEMS芯片，實現(xiàn)對細(xì)胞、分子和藥物等方面的研究；在無人機或者衛(wèi)星上運用 MEMS 加速度傳感器、陀螺儀和氣壓計，為導(dǎo)航控制和姿態(tài)穩(wěn)定提供技術(shù)支持等。