真空傳感器是一種用于檢測真空度的儀器。它主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空設(shè)備和航空航天等領(lǐng)域。下面將詳細介紹它的工作原理和作用。

1.真空傳感器工作原理

真空傳感器根據(jù)其對真空環(huán)境的響應(yīng)特性，利用熱電效應(yīng)、陰極放電效應(yīng)、離子發(fā)射效應(yīng)等物理現(xiàn)象進行測量。其中最常用的是熱電式真空計和離子真空計。

熱電式真空計是利用熱電偶溫度變化的原理來測量真空度的，當真空度改變時，自然就會對熱電偶產(chǎn)生影響；離子真空計則是通過測量被電離氣體在強磁場中轉(zhuǎn)移的電荷量來計算出真空度的，其檢測范圍更廣，但也要求使用較高的真空度。

2.真空傳感器作用

真空傳感器可以幫助檢測和控制真空環(huán)境，確保設(shè)備在預(yù)期的真空度范圍內(nèi)運行。例如，在半導(dǎo)體工藝中，真空的精度對于晶體管等元件的電學(xué)性能有著至關(guān)重要的作用；在航天領(lǐng)域，真空環(huán)境的穩(wěn)定性則是保證空間站、飛船等設(shè)備正常運行的保障。