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光罩國產(chǎn)化：五年變了天地
自2020年以來，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化水平得到了飛速地提升，近日由工信部站臺推廣的ArF干式光刻機便是一例。同樣在光刻材料的國產(chǎn)化中，光罩的國產(chǎn)化也十分引人矚目?？梢哉f在這五年里，中國大陸地區(qū)的本土光罩廠走過了從邊緣到核心，從0.13微米到14納米的蛻變和進化。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫

1637

01/26 14:22

光罩
LGD｜聯(lián)手延世大學(xué)開發(fā)出柔性透明光罩技術(shù)，可應(yīng)用于LCD/OLED制程
LG顯示（以下LGD）通過產(chǎn)學(xué)合作孵化課題支援，聯(lián)手延世大學(xué)Shim Uyeong（新材料工學(xué)科）教授團隊，開發(fā)出革新性新面板技術(shù)。

CINNO Research

38

2020/02/17

oled LG顯示
EUV吞吐量/掩膜/成本/光罩/產(chǎn)能/工藝步驟深度分析，臺積電、格羅方德、英特爾都已準備好？
在每年一度的半導(dǎo)體行業(yè)戰(zhàn)略研討會（ISS）上，半導(dǎo)體行業(yè)的高管們都會討論半導(dǎo)體技術(shù)趨勢和全球市場的發(fā)展。這篇文章介紹了一位行業(yè)觀察家在會議上分享的關(guān)于EUV光刻技術(shù)在不同工藝節(jié)點中的技術(shù)路徑的內(nèi)容和結(jié)論。

與非網(wǎng)記者

47

2018/01/23

與非觀察 EUV

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