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刻蝕設(shè)備

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刻蝕設(shè)備的發(fā)展和光刻技術(shù)，互連技術(shù)密切相關(guān)。High K / Low K材料，銅互連，Metal Gate，double Pattern等技術(shù)的發(fā)展都對刻蝕設(shè)備提出了新的需求·

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