• 測(cè)量探頭的 “溫漂” 問(wèn)題，都是怎么產(chǎn)生的，以及對(duì)于晶圓厚度測(cè)量的影響

  在半導(dǎo)體芯片制造的微觀世界里，精度就是生命線，晶圓厚度測(cè)量的精準(zhǔn)程度直接關(guān)聯(lián)著最終產(chǎn)品的性能優(yōu)劣。而測(cè)量探頭的 “溫漂” 問(wèn)題，宛如精密時(shí)鐘里的一粒微塵，雖小卻能攪亂整個(gè)測(cè)量體系的精準(zhǔn)節(jié)奏。深入探究其產(chǎn)生根源以及帶來(lái)的連鎖影響，對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展至關(guān)重要。一、“溫漂” 問(wèn)題的產(chǎn)生緣由1.環(huán)境溫度波動(dòng)半導(dǎo)體制造車間是一個(gè)復(fù)雜的熱環(huán)境生態(tài)。一方面，大量設(shè)備持續(xù)運(yùn)行散發(fā)可觀熱量，如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)

  萬(wàn)智光學(xué)

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  01/13 09:30

  碳化硅 晶圓

  
• 測(cè)量探頭的 “溫漂” 問(wèn)題，對(duì)于晶圓厚度測(cè)量的實(shí)際影響

  ?一、“溫漂” 現(xiàn)象的本質(zhì)剖析測(cè)量探頭的 “溫漂”，指的是由于環(huán)境溫度變化或探頭自身在工作過(guò)程中的發(fā)熱，導(dǎo)致探頭的物理特性發(fā)生改變，進(jìn)而使其測(cè)量精度出現(xiàn)偏差的現(xiàn)象。從原理上看，多數(shù)測(cè)量探頭基于電學(xué)或光學(xué)原理工作，例如電學(xué)探頭利用電信號(hào)的變化反映測(cè)量目標(biāo)的參數(shù)，而溫度的波動(dòng)會(huì)影響電子元件的導(dǎo)電性、電容值等關(guān)鍵性能指標(biāo)；光學(xué)探頭的光路系統(tǒng)受溫度影響，玻璃鏡片的折射率、光學(xué)元件的熱膨脹等因素都會(huì)使光線傳

  萬(wàn)智光學(xué)

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  01/10 14:50

  碳化硅 晶圓

  
• 晶圓的環(huán)吸方案相比其他吸附方案，對(duì)于測(cè)量晶圓 BOW/WARP 的影響

  在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，晶圓的加工精度和質(zhì)量控制至關(guān)重要，其中對(duì)晶圓 BOW（彎曲度）和 WARP（翹曲度）的精確測(cè)量更是關(guān)鍵環(huán)節(jié)。不同的吸附方案被應(yīng)用于晶圓測(cè)量過(guò)程中，而晶圓的環(huán)吸方案因其獨(dú)特設(shè)計(jì)，與傳統(tǒng)或其他吸附方案相比，對(duì) BOW/WARP 測(cè)量有著顯著且復(fù)雜的影響。 一、常見(jiàn)吸附方案概述 傳統(tǒng)的吸附方案包括全表面吸附、邊緣點(diǎn)吸附等。全表面吸附利用真空將晶圓整個(gè)底面緊密貼合在吸盤(pán)上，能提供穩(wěn)定的吸

  萬(wàn)智光學(xué)

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  01/09 08:24

  晶圓 晶盛機(jī)電

  
• 晶盛機(jī)電董事長(zhǎng)曹建偉：12英寸大硅片設(shè)備機(jī)遇

  耗材產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化十分關(guān)鍵

  芯謀研究

  973

  2023/01/06

  大硅片 晶盛機(jī)電
• 晶盛機(jī)電宣布成功研發(fā)出8英寸N型SiC晶體

  近日，晶盛機(jī)電通過(guò)官方微信公眾號(hào)宣布，經(jīng)過(guò)晶體實(shí)驗(yàn)室研發(fā)團(tuán)隊(duì)半年多的技術(shù)攻關(guān)，8月12日，首顆8英寸（200mm）N型SiC（碳化硅）晶體成功出爐，晶盛第三代半導(dǎo)體材料SiC研發(fā)自此邁入8英寸時(shí)代。

  芯智訊

  387

  2022/08/16

  半導(dǎo)體材料 晶盛機(jī)電
• 全自動(dòng)金剛石生長(zhǎng)爐研發(fā)成功，晶盛機(jī)電破解“終極半導(dǎo)體”材料

  近日，晶盛機(jī)電技術(shù)研發(fā)再次突破，成功研發(fā)出全自動(dòng)金剛石生長(zhǎng)爐。

  全球半導(dǎo)體觀察

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  2022/03/09

  半導(dǎo)體材料 晶盛機(jī)電
• 晶盛機(jī)電：首臺(tái)12英寸硬軸直拉爐成功生長(zhǎng)出12英寸硅單晶

  7月20日，晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)12英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長(zhǎng)出首顆12英寸硅單晶。

  與非網(wǎng)編輯

  212

  2021/07/22

  12英寸 晶盛機(jī)電
• 晶盛機(jī)電：12英寸單晶硅生長(zhǎng)爐及部分加工設(shè)備已實(shí)現(xiàn)批量銷售

  近日，晶盛機(jī)電在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，公司完善了以單晶硅生長(zhǎng)、切片、拋光、外延四大核心裝備為主的半導(dǎo)體硅材料設(shè)備體系，目前基本實(shí)現(xiàn)8英寸晶片端長(zhǎng)晶到加工的全覆蓋，且已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)和批量出貨。

  與非網(wǎng)編輯

  141

  2021/07/19

  12英寸 單晶硅

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