• 激光退火后 晶圓 TTV 變化管控

  摘要：本文針對(duì)激光退火后晶圓總厚度偏差（TTV）變化的問(wèn)題，深入探討從工藝參數(shù)優(yōu)化、設(shè)備改進(jìn)、晶圓預(yù)處理以及檢測(cè)反饋機(jī)制等方面，提出一系列有效管控 TTV 變化的方法，為提升激光退火后晶圓質(zhì)量提供技術(shù)參考。 關(guān)鍵詞：激光退火；晶圓；TTV 變化；管控方法 一、引言 激光退火作為半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工藝，在改善晶圓電學(xué)性能方面發(fā)揮著重要作用。然而，激光退火過(guò)程中產(chǎn)生的高熱量及不均勻的能量分布，易導(dǎo)致晶

  新啟航半導(dǎo)體有限公司

  314

  14小時(shí)前

  扇出型晶圓級(jí)封裝 電子溫度控制器
• 探究無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)在高壓電氣設(shè)備上如何應(yīng)用

  無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)就是可以自主、實(shí)時(shí)的對(duì)溫度進(jìn)行監(jiān)控，若發(fā)現(xiàn)溫度過(guò)高，便會(huì)給工作人員傳達(dá)信息，好讓工作人員可以及時(shí)的調(diào)控溫度。無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng)由實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度（溫度傳感器）和負(fù)責(zé)傳輸并顯示結(jié)果的兩個(gè)結(jié)構(gòu)組成

  安科瑞電氣股份有限公司

  2241

  2023/11/27

  無(wú)線測(cè)溫系統(tǒng) 無(wú)線測(cè)溫

  

正在努力加載...