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直流濺射為什么不能濺射絕緣體直流濺射和射頻濺射的區(qū)別
直流濺射是一種利用電極在真空或惰性氣體中將材料濺射到襯底上來(lái)形成薄膜的技術(shù)。與射頻濺射相比，直流濺射的能量很低，因此無(wú)法將材料濺射到不良導(dǎo)體如絕緣體表面。另外，直流濺射形成的薄膜的結(jié)構(gòu)比較致密，適合制備金屬和合金化合物薄膜。

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2023/03/17

射頻濺射直流濺射

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