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沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，專(zhuān)業(yè)從事半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與服務(wù)，致力于為客戶提供半導(dǎo)體裝備與工藝整體解決方案。

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