国产久操视频-国产久草视频-国产久热精品-国产久热香蕉在线观看-青青青青娱乐-青青青青在线成人视99

計(jì)算光刻

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點(diǎn)資訊討論

光刻工藝過(guò)程可以用光學(xué)和化學(xué)模型,借助數(shù)學(xué)公式來(lái)描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射,衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面,這一成像過(guò)程是一個(gè)光學(xué)過(guò)程;投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng),烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液,這是化學(xué)過(guò)程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來(lái)模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過(guò)程,從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑,指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。

光刻工藝過(guò)程可以用光學(xué)和化學(xué)模型,借助數(shù)學(xué)公式來(lái)描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射,衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面,這一成像過(guò)程是一個(gè)光學(xué)過(guò)程;投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng),烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液,這是化學(xué)過(guò)程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來(lái)模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過(guò)程,從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑,指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。收起

查看更多
暫無(wú)相關(guān)內(nèi)容,為您推薦以下內(nèi)容

正在努力加載...

潞西市| 监利县| 当涂县| 武冈市| 横山县| 福海县| 武穴市| 新密市| 南平市| 巴南区| 邵东县| 汉源县| 郴州市| 大英县| 松江区| 镇雄县| 固镇县| 双江| 九江市| 乳源| 开江县| 荔浦县| 松阳县| 江西省| 西藏| 土默特左旗| 潜江市| 确山县| 微博| 高青县| 黄冈市| 秦安县| 蕲春县| 安化县| 体育| 兴化市| 华阴市| 焦作市| 新建县| 班玛县| 肇庆市|