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MEMS壓力傳感器

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MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時(shí)變形?？梢岳脩?yīng)變儀（壓阻型感測(cè)）來(lái)測(cè)量這種形變，也可以通過(guò)電容感測(cè)兩個(gè)面之間距離的變化來(lái)加以測(cè)量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)使用比較結(jié)實(shí)的壓阻方法。

MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時(shí)變形?？梢岳脩?yīng)變儀（壓阻型感測(cè)）來(lái)測(cè)量這種形變，也可以通過(guò)電容感測(cè)兩個(gè)面之間距離的變化來(lái)加以測(cè)量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)使用比較結(jié)實(shí)的壓阻方法。收起

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