光柵位移傳感器（Grating Displacement Sensor），是測量線性或角度位移的一種高精度非接觸式測量儀器。它通過從光柵中讀取周期性結(jié)構(gòu)的光信號(hào)，來測量物體相對(duì)于傳感器的移動(dòng)距離。

1.什么是光柵位移傳感器

光柵位移傳感器是一種機(jī)電一體化測量設(shè)備，利用光柵原理檢測目標(biāo)位移情況，具有非常高的分辨率，一般可達(dá)到微米級(jí)別，甚至更小。它可以直接安裝在需要進(jìn)行位移測量的部件上，且不需要與被測量對(duì)象直接接觸，因此具有很好的抗干擾能力，并適用于高精度位移量測、工業(yè)在線控制等領(lǐng)域。

2.光柵位移傳感器作用

光柵位移傳感器主要用于直線位移和角度位移的測量，可以廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、半導(dǎo)體生產(chǎn)、金屬加工、電子制造、醫(yī)療器械以及航空、航天等領(lǐng)域的高精度測量和自動(dòng)化控制中。

3.光柵位移傳感器原理

具體來說，光柵位移傳感器采用了“光柵”原理，即利用光學(xué)柵片（如刻痕板、角斜光柵等），通過形成周期性的透明和不透明結(jié)構(gòu)使得被測物體的運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生相位變化，從而實(shí)現(xiàn)位移量的測量。在位移傳感器中，通常通過將一個(gè)光源聚焦到一條線上并投射到一個(gè)光柵上，測量出透過光柵的光的干涉信號(hào)，再通過檢測非正弦干涉信號(hào)的相對(duì)位置來計(jì)算出目標(biāo)位移的大小。