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二次電子

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二次電子:在入射電子束作用下被轟擊出來(lái)并離開(kāi)樣品表面的樣品原子的核外電子叫做二次電子。二次電子一般都是在表層5~10nm深度范圍內(nèi)發(fā)射出來(lái)的,它對(duì)樣品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效的顯示樣品的表面形貌。二次電子的能量較低,一般不超過(guò)50eV。大多數(shù)二次電子只帶有幾個(gè)電子伏的能量。

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