• 逆風十年，國產半導體設備曙光初現(xiàn)

  國人對半導體設備禁令的印象，大多始于2019年聲勢浩大的科技戰(zhàn)，但早在互聯(lián)網還沒有記憶的1996年，美國就集結了“巴統(tǒng)” 17國在內的33個國家，以《瓦森納協(xié)定》的形式確定了密不透風的技術出口管控。協(xié)定的3.B條款嚴格限制了芯片制造前、中、后道幾乎所有核心設備，其中就包括刻蝕機。

  遠川科技評論

  1977

  01/23 17:14

  半導體設備 刻蝕機

  
• 幾種常見的刻蝕機臺，包括LAM、AMAT、TEL、MATTSON和AMEC等

  在晶圓制造過程中，刻蝕工藝是至關重要的，它不僅影響芯片的功能，還決定了工藝的精度和生產效率。LAM Research（簡稱LAM）是刻蝕機領域的領先廠商之一，尤其在干法刻蝕方面具有很強的競爭力。LAM的刻蝕機臺通常采用等離子體刻蝕技術，其特點是高效的刻蝕速率和良好的工藝控制能力。

  老虎說芯

  2.3萬

  2024/12/14

  刻蝕設備 刻蝕機

  
• 5nm已量產，3nm還會遠嗎？重要性比肩光刻機的刻蝕設備——中微公司

  晶圓制造設備從類別上講可以分為刻蝕、光刻、薄膜沉積、檢測、涂膠顯影等十多類，其合計投資總額通常占整個晶圓廠投資總額的 75%左右，其中刻蝕設備、光刻設備、薄膜沉積設備是集成電路前道生產工藝中最重要的三類設備。 根據(jù)Gartner統(tǒng)計的數(shù)據(jù)，2013年至2023年，半導體前道設備中，干法刻蝕設備市場年均增速超過15%，化學薄膜設備市場年均增速超過14%，這兩類設備增速遠高于其他種類的設備。 圖|20

  王兵

  8847

  2024/11/12

  與非研究院 CVD

  
• 躋身全球半導體設備TOP4，張江這家公司的底層密碼是什么？

  在行業(yè)經歷周期低谷的當下，張江科學城這家半導體設備公司的成績單依然很閃耀：據(jù)中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）年報顯示，2023年前三季度公司實現(xiàn)營業(yè)收入40.41億元，同比增長32.8%；實現(xiàn)歸母凈利潤11.6億元，同比增長46.27%。

  張通社

  2617

  2023/12/13

  半導體設備 刻蝕機

  
• 中國半導體設備進出口數(shù)據(jù)及貿易伙伴排名｜2022上半年

  半導體國產替代的背景下，半導體設備作為芯片制造的基礎，在整個產業(yè)鏈中扮演著舉足輕重的地位。與非網對2022年1-6月中國大陸海關半導體制造設備進出口數(shù)據(jù)進行了整理分析，為大家了解中國目前半導體制造設備市場做一個參考。

  史德志

  2373

  2022/07/29

  半導體設備 與非研究院

  
• 清華大學等離子體刻蝕機采購項目公開招標

  3月29日，清華大學發(fā)布等離子體刻蝕機采購項目公開招標公告。

  與非網編輯

  150

  2022/03/30

  刻蝕機 等離子體刻蝕機
• 全球半導體設備新星，中微公司撐住國產芯力量

  由于中國一家公司已經做出了和美國設備公司有相同質量和數(shù)量的等離子體刻蝕機，所以取消對中國的刻蝕機出口管制。

  半導體小羅羅

  185

  2020/07/27

  半導體設備 刻蝕設備
• 方寸之困：納米級芯片通關路

  內有隱憂，外有威脅，仍然是困擾我國芯片產業(yè)的現(xiàn)實寫照。

  腦極體

  152

  2020/05/10

  半導體 芯片
• 芯友會 | 半導體設備國產化的限制因素是什么？【第9期】

  現(xiàn)如今，國與國之間的貿易發(fā)生了變化，帶來了挑戰(zhàn)，也為半導體原材料的國產替代帶來了機遇。

  芯片揭秘

  126

  2020/04/13

  led 半導體設備
• 2019科創(chuàng)板元年：如何保持戰(zhàn)斗力

  有人說：創(chuàng)業(yè)板 10 年，創(chuàng)造了無數(shù)財富神話；新三板 5 年，從烈火烹油到無人問津，注定只是場外的小眾市場。而今作為股市新貴的科創(chuàng)板又將演繹怎樣的命運？

  夏珍

  348

  1評論

  2020/01/08

  芯片 晶圓
• 不吹上天，不扁入地，還原真實的“中國刻蝕機之父——尹志堯”

  “剛剛，這位中國老人，突然回國，美國人徹底慌了！” “是他，讓中國半導體技術彎道超車，趕超美日！是他，讓‘中國芯’實現(xiàn)中國制造，突破外企獨霸！” “中國再一次在核心領域突破技術‘無人區(qū)’，彎道超車，率先掌握5 納米半導體技術！” 尹志堯本人在回復科大微電子學院院長劉明院士時表示他已不堪其擾：希望媒體能夠做到事實報道，不要夸大其詞。

  夏珍

  373

  1評論

  2019/11/16

  與非觀察 半導體設備
• 國產半導體設備翹楚——中微半導體的逆襲路

  2018年，半導體行業(yè)迎來一波IPO熱潮，到如今這股熱潮似乎仍未褪去，2019年1月8日，中微半導體與海通證券、長江證券簽署輔導協(xié)議進行上市輔導備案。國產半導體設備的翹楚——中微半導體亦在為IPO作準備。

  李晨光

  67

  2019/03/05

  臺積電 半導體設備
• 中微半導體已掌握5nm刻蝕機技術，這個彎道超車漂亮

  不鳴則已一鳴必驚人！揚眉吐氣、創(chuàng)造歷史！中國再一次在核心領域突破技術“無人區(qū)”，彎道超車，率先掌握5 nm半導體技術！

  與非網記者

  10

  3評論

  2017/04/06

  芯片 5nm
• 本土IC生存實錄 | 專訪中微半導體，不對稱競爭格局下，我國高科技企業(yè)如何實現(xiàn)跨越？

  為完成這篇關于中微半導體的報道，筆者兩次造訪中微位于上海金橋出口加工區(qū)的總部，先后和7位中微的核心團隊成員進行了深入的交流?？梢哉f在一個公司中，核心管理團隊的氣場就決定著這家公司的氣質和風格，而通過這兩次交流，讓我對中微半導體這家設備公司的印象從一個模糊的輪廓逐漸清晰，我把我的收獲分四篇文章--產業(yè)篇、未來篇、企業(yè)篇和團隊篇逐一和大家分享

  高揚

  3

  2015/03/03

  刻蝕機

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