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微電子技術(shù)是隨著集成電路，尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來的一門新的技術(shù)。其發(fā)展的理論基礎(chǔ)是19世紀末到20世紀30年代期間建立起來的現(xiàn)代物理學。微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設計、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術(shù)，微電子技術(shù)是微電子學中的各項工藝技術(shù)的總和。

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