国产久操视频-国产久草视频-国产久热精品-国产久热香蕉在线观看-青青青青娱乐-青青青青在线成人视99

計(jì)算光刻

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點(diǎn)資訊討論

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型,借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射,衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面,這一成像過程是一個(gè)光學(xué)過程;投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng),烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液,這是化學(xué)過程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程,從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑,指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型,借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射,衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面,這一成像過程是一個(gè)光學(xué)過程;投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng),烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液,這是化學(xué)過程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程,從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑,指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。收起

查看更多
暫無相關(guān)內(nèi)容,為您推薦以下內(nèi)容

正在努力加載...

彭阳县| 安宁市| 北碚区| 鄂托克前旗| 兰溪市| 永州市| 九龙县| 丰城市| 淅川县| 玛多县| 瓦房店市| 祁东县| 新闻| 中宁县| 集安市| 阿图什市| 乐亭县| 耒阳市| 海阳市| 甘谷县| 秦安县| 东宁县| 泾川县| 泽州县| 吴旗县| 鹤壁市| 荆门市| 溧阳市| 巴东县| 珠海市| 康平县| 故城县| 灌云县| 北京市| 徐闻县| 长治县| 屏山县| 白玉县| 新密市| 金塔县| 岳池县|