• 一文了解原子層沉積(ALD)薄膜制備技術(shù)

  CVD?技術(shù)是一種在真空環(huán)境中通過(guò)襯底表面化學(xué)反應(yīng)來(lái)進(jìn)行薄膜生長(zhǎng)的過(guò)程，較短的工藝時(shí)間以及所制備薄膜的高致密性，使?CVD?技術(shù)被越來(lái)越多地應(yīng)用于薄膜封裝工藝中無(wú)機(jī)阻擋層的制備。

  半導(dǎo)體全解

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  05/07 11:40

  ALD 薄膜技術(shù)

  

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