国产久操视频-国产久草视频-国产久热精品-国产久热香蕉在线观看-青青青青娱乐-青青青青在线成人视99

計(jì)算光刻

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點(diǎn)資訊討論

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型，借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個(gè)光學(xué)過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng)，烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學(xué)過程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型，借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個(gè)光學(xué)過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng)，烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學(xué)過程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。收起

查看更多
暫無相關(guān)內(nèi)容，為您推薦以下內(nèi)容

正在努力加載...

定远县| 黄龙县| 乌兰县| 黔西| 尉犁县| 类乌齐县| 麻阳| 永济市| 光泽县| 大同县| 聂拉木县| 临沧市| 罗山县| 云浮市| 比如县| 丰都县| 华容县| 鄂尔多斯市| 营山县| 玉林市| 顺平县| 内江市| 黄石市| 迭部县| 东台市| 正宁县| 新乡县| 澄迈县| 醴陵市| 五华县| 长丰县| 莱州市| 惠安县| 泗洪县| 咸宁市| 洪雅县| 阿拉善左旗| 建水县| 衡水市| 夏河县| 清新县|