国产久操视频-国产久草视频-国产久热精品-国产久热香蕉在线观看-青青青青娱乐-青青青青在线成人视99

計(jì)算光刻

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點(diǎn)資訊討論

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型，借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個(gè)光學(xué)過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng)，烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學(xué)過程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型，借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個(gè)光學(xué)過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng)，烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學(xué)過程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。收起

查看更多
暫無相關(guān)內(nèi)容，為您推薦以下內(nèi)容

正在努力加載...

宜丰县| 华坪县| 蓝山县| 太仆寺旗| 理塘县| 大城县| 正阳县| 黎平县| 高安市| 杨浦区| 修水县| 紫云| 平乡县| 拜城县| 治县。| 周宁县| 茌平县| 游戏| 古交市| 鄱阳县| 和顺县| 盘山县| 泽普县| 昆明市| 交城县| 泸溪县| 内黄县| 安溪县| 濮阳县| 浦江县| 乳源| 晋宁县| 潜山县| 衡水市| 临澧县| 大英县| 孙吴县| 乌鲁木齐县| 略阳县| 开远市| 额敏县|