• lift off工藝為什么常用蒸發(fā)的方式鍍膜？

  學(xué)員問(wèn)：我觀察到晶圓廠中l(wèi)ift off工藝，鍍膜都是用的電子束蒸發(fā)的方式，很少有用磁控濺射的方式，為什么？

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  2024/08/13

  電子束 Lift off工藝
• 負(fù)膠的Undercut在lift-off工藝中的應(yīng)用

  ?光刻工藝中負(fù)膠因?yàn)檎扯绕螅驼z相反的曝光模式，被廣泛應(yīng)用，但是負(fù)膠精度沒(méi)有正膠好，容易顯影變形，價(jià)格也普遍相對(duì)較貴。

  芯片工藝技術(shù)

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  2024/08/12

  光刻技術(shù) Lift off工藝
• 什么是Lift off工藝？

  有朋友問(wèn)：Lift off工藝是什么？Lift?off工藝是晶圓廠中的常見(jiàn)工藝，它是制作金屬互連、導(dǎo)線和其他結(jié)構(gòu)時(shí)的一種替代光刻和蝕刻過(guò)程的方法。見(jiàn)下圖：

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  2024/04/07

  晶圓工藝 Lift off工藝

  

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