• lift off工藝為什么常用蒸發(fā)的方式鍍膜？

  學(xué)員問：我觀察到晶圓廠中l(wèi)ift off工藝，鍍膜都是用的電子束蒸發(fā)的方式，很少有用磁控濺射的方式，為什么？

  TOM聊芯片智造

  1943

  2024/08/13

  電子束 Lift off工藝
• 負(fù)膠的Undercut在lift-off工藝中的應(yīng)用

  ?光刻工藝中負(fù)膠因?yàn)檎扯绕?，和正膠相反的曝光模式，被廣泛應(yīng)用，但是負(fù)膠精度沒有正膠好，容易顯影變形，價(jià)格也普遍相對較貴。

  芯片工藝技術(shù)

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  2024/08/12

  光刻技術(shù) Lift off工藝

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