在微觀世界的精密加工領(lǐng)域,聚焦離子束(Focused Ion Beam,F(xiàn)IB)技術(shù)宛如一位神奇的 “納米雕刻師”,憑借獨(dú)特的技術(shù)手段,為材料加工、分析和成像開(kāi)辟了全新的路徑。這項(xiàng)技術(shù)通過(guò)對(duì)離子束的精妙操控,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的精準(zhǔn)操作,在多個(gè)領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。
在半導(dǎo)體技術(shù)持續(xù)向納米級(jí)乃至埃米級(jí)邁進(jìn)的今天,芯片集成度不斷攀升,內(nèi)部結(jié)構(gòu)愈發(fā)復(fù)雜。在芯片的全生命周期中,失效問(wèn)題難以避免,而 Hot Spot 技術(shù)已成為產(chǎn)品工程師破解芯片失效謎團(tuán)的關(guān)鍵利器。該技術(shù)聚焦于芯片內(nèi)部因各種缺陷引發(fā)的過(guò)熱或異常電流密度區(qū)域,精準(zhǔn)定位潛在故障點(diǎn),為后續(xù)深入分析奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
在集成電路制造領(lǐng)域,Seal ring 雖不直接參與電路信號(hào)處理,卻是芯片物理防護(hù)體系的核心構(gòu)件。這個(gè)看似簡(jiǎn)單的環(huán)形結(jié)構(gòu),從版圖設(shè)計(jì)到工藝實(shí)現(xiàn)都承載著多重使命,是保障芯片可靠性的關(guān)鍵屏障。本文將從定義、結(jié)構(gòu)、作用及缺失風(fēng)險(xiǎn)四個(gè)維度,全面解析這一芯片 "守護(hù)者" 的技術(shù)內(nèi)涵。